对于器件建模、技术开发、半导体工艺开发和规范、过程控制、元器件定标和试生产来说，精确和可重复的晶圆级（On Wafer）测量必不可少。半导体技术正在不断发展，产品从设计到上市的速度越来越快，同时对于更高精度的需求也日益增加。面对这些挑战，用户亟需一款综合的解决方案，以快速和精确地对元器件实施先进的直流和射频测量。
清华大学天津电子信息研究院单片微波集成电路（MMIC）综合实验室配置了行业领先的Cascade Microtech晶圆级探针台、微波和直流偏置探头以及校准工具，并与是德科技Keysight Technologies的测试仪器、测量和分析软件完美结合，使您可以对所有元器件执行全方位的测量。
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每个晶圆级测量解决方案均可享受全方位的支持，清华大学天津电子信息研究院精通晶圆级测试与测量的解决专家将与客户紧密协作优化方案，以满足客户不断提出的测量、表征和建模要求
MMIC测量系统配置
Keysight相关仪表：
1. 毫米波矢量网络分析仪N5290A
型号 | 名称 |
N5290A | 微波矢量网络分析仪，900Hz~110GHz，四端口 |
S93029A | 利用矢量校正进行噪声系数测量 |
S93083A | 矢量和标量混频器/转换器测量 |
S93084A | 嵌入式本振功能 |
S93086A | 增益压缩测量选件 |
S93087A | 互调失真测量 |
S93088A | 信号源相位控制 |
S93089A | 差分和 I/Q 器件测量 |
S94511A | 元器件的非线性特性测量 |
S94514A | 非线性X参数测量 |
S94520A | 任意负载阻抗 X 参数 |
2. 半导体参数分析仪B1500A
B1500A | 半导体器件参数分析仪/半导体表征系统主机 |
B1500A-A10 | 大功率电源/测量单元 |
B1500A-A11 | 中功率电源/测量单元 |
B1500A-A17 | 增益压缩测量选件 |
B1500A-A20 | 多频率电容测量单元 |
B1500A-A25 | 高电压半导体脉冲发生器单元 |
B1500A-A30 | 波形发生器/快速测量单元 |
Cascade Microtech
型号 | 名称 |
Summit 12000 | 200mm 半自动探测台 |
TS-412-14P | ATT高低温控制系统 |
SP-Inf | 直流至110G探针模组 |
Velox | 探针台控制软件 |
eVue III | 显微镜 |
直流电源分析仪N6705C
型号 | 名称 |
N6715C | 直流电源分析仪系统 |
N6764A | 精密直流电源模块 |
N6762A | 精密直流电源模块 |
噪声系数分析仪N8976B
型号 | 名称 |
N8976B | 噪声系数分析仪 |
346CK01 | 噪声源 |
频谱仪N9020B
型号 | 名称 |
N9020B | 频谱分析仪 |
346CK01 | 噪声源 |
噪声源WGNS-10-0003
变频器FBC-10-FB-0001