清华大学天津电子信息研究院 单片微波集成电路(MMIC)综合实验室 系统配置技术文档(1)

发布时间: 2018/9/30 13:05:05

对于器件建模、技术开发、半导体工艺开发和规范、过程控制、元器件定标和试生产来说,精确和可重复的晶圆级(On Wafer)测量必不可少。半导体技术正在不断发展,产品从设计到上市的速度越来越快,同时对于更高精度的需求也日益增加。面对这些挑战,用户亟需一款综合的解决方案,以快速和精确地对元器件实施先进的直流和射频测量。

清华大学天津电子信息研究院单片微波集成电路(MMIC)综合实验室配置了行业领先的Cascade Microtech晶圆级探针台、微波和直流偏置探头以及校准工具,并与是德科技Keysight Technologies的测试仪器、测量和分析软件完美结合,使您可以对所有元器件执行全方位的测量。

清华大学天津电子信息研究院 单片微波集成电路(MMIC)综合实验室 系统配置技术文档

每个晶圆级测量解决方案均可享受全方位的支持,清华大学天津电子信息研究院精通晶圆级测试与测量的解决专家将与客户紧密协作优化方案,以满足客户不断提出的测量、表征和建模要求

MMIC测量系统配置

Keysight相关仪表:

1. 毫米波矢量网络分析仪N5290A

型号

名称

N5290A

微波矢量网络分析仪,900Hz~110GHz,四端口

S93029A

利用矢量校正进行噪声系数测量

S93083A

矢量和标量混频器/转换器测量

S93084A

嵌入式本振功能

S93086A

增益压缩测量选件

S93087A

互调失真测量

S93088A

信号源相位控制

S93089A

差分和 I/Q 器件测量

S94511A

元器件的非线性特性测量

S94514A

非线性X参数测量

S94520A

任意负载阻抗 X 参数

2. 半导体参数分析仪B1500A

B1500A

半导体器件参数分析仪/半导体表征系统主机

B1500A-A10

大功率电源/测量单元

B1500A-A11

中功率电源/测量单元

B1500A-A17

增益压缩测量选件

B1500A-A20

多频率电容测量单元

B1500A-A25 

高电压半导体脉冲发生器单元

B1500A-A30

波形发生器/快速测量单元

Cascade Microtech

型号

名称

Summit 12000

200mm 半自动探测台

TS-412-14P

ATT高低温控制系统

SP-Inf 

直流至110G探针模组

Velox

探针台控制软件

eVue III

显微镜

直流电源分析仪N6705C

型号

名称

N6715C

直流电源分析仪系统

N6764A

精密直流电源模块

N6762A 

精密直流电源模块

噪声系数分析仪N8976B

型号

名称

N8976B

噪声系数分析仪

346CK01

噪声源

频谱仪N9020B

型号

名称

N9020B

频谱分析仪

346CK01

噪声源

噪声源WGNS-10-0003

型号

名称

WGNS-10-0003

噪声源

变频器FBC-10-FB-0001

型号

名称

FBC-10-FB-0001

变频器







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